离子探针仪器的归类　　一般来说把离子束斑低于十米之上的，称之为非光学宏观经济探针（nonimagingmacroprobes）；把离子束斑超过10nm的称之为离子微探针（microprobes）。　　离子探针仪器的四个归类和运用于：就光学技术性来讲，可分为扫瞄型离子微探针（scanningionmicroprobes）和监控摄像头型离子探针。

前面一种的一次离子束斑直徑较小，（1米），并在样品上扫瞄，类似透射电镜（SEM）和扫瞄俄赫尔微探针（SAM），也叫离子微探针。后面一种是一次离子束斑较小（～300m），并原地不动，而二次离子光学（secondaryionoptics）扫瞄光学，也叫离子光学显微镜（ionmicroscope），空间分辨率～0.1m。　　在离子探针迅速发展趋势中，要表述或列出全部各有不同的仪器不是有可能的。概括地说，能够分为下列几种。

　　1.非光学离子探针　　2.离子光学显微镜　　3.扫瞄离子微探针　　4.图象人体解剖学离子探针（imagedissectingionprobes）　　离子探针仪器的运用于　　像离子探针仅限于于很多各有不同种类的样品。下边得到一些象征性事例。　　一，金属材料样品　　它是理想化的样品，会浓差极化。

最先可用SEM必需寻找很感兴趣的剖析区。用以模型样品和用以扫瞄离子探针，沿模型线扫瞄的方式是一种简易的技术性，可做为动态性SIMS的补充。可作为氢氧化物强健、锈蚀、焊、变形超温掉下来和晶体间界缩松等层面的科学研究。

　　二，半导体元器件　　检验掺加产自模型和层形构造。伴随着集成电路工艺集成电路芯片的发展趋势，扫瞄离子探针剖析更为最重要。　　三，导电介质样品　　聚合物和玻璃制品是典型性绝缘层样品。

为子解决困难浓差极化难题，火焰光度计已产品研发出拥有微讨论扫瞄原子束，能够对绝缘层样品造成高品质的离子像。但当竖向屏幕分辨率需要高过5m时，所述源就没法符合要求了。这时仍仅用讨论微离子束。

这些方面己顺利地得到 了蝇类触角的离子像。运用于的另一个行业是高分子材料，特别是在是科学研究这类原材料裂缝页面的状况。

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